近日，星桥街道达宸星创科技园内，一家成立仅两年多的半导体企业——中科山海微（杭州）半导体技术有限公司，启用了其规模化量产产线。从抛光、定心到纳米级检测，38道工艺被集成在同一个车间里。这里产出的是目前国内唯一能覆盖28nm、14nm乃至10nm制程的深紫外光学模组。

走进中科山海微新产线实验室，工作人员正专注打磨产品，擦拭、调试、检测......每一个环节都力求精确无误。据悉，此次入驻的新产线不仅配备专业生产设备，更搭建了标准化生产流程，实现产品研发、加工、装调全流程自主可控，有效推动前期研发成果落地转化，顺利实现半导体相关产品批量生产。

“我们的新产线面向先进制程工艺节点的半导体芯片晶圆缺陷检测，将近38道工艺集成在一千平方米的半导体无尘车间。”公司创始人明名介绍，产线涵盖亚微米级定心与装调、纳米级测试及深紫外检测等全流程，能大幅提升产品精度和开发效率，“目前在手订单约1.5至2亿元，主要面向国内头部半导体设备客户。”

作为一家2024年成立的高科技企业，中科山海微深耕半导体芯片检测、光刻和封装领域光学模组研发生产，实力尤为突出。其产品供应链不仅对接国内高端科研院所（诸如国科大杭州高等研究院），还建立了深紫外宽波段光学镀膜、深紫外纳米级光学加工供应链，实现全流程自主可控。目前，公司已建成8个千级及2个百级无尘车间，拥有自主超精密制造中心，具备年产50台套、产值超5000万元的生产能力，更是国内唯一能开发和生产覆盖28nm、14nm、10nm制程明暗场缺陷检测深紫外光学模组的企业。

“我们的产品主要应用于芯片晶圆制造的缺陷检测，可完成纳米级检测，助力提升晶圆良率。”明名表示，产品主要应用在我国主流晶圆厂，是提升晶圆良率不可或缺的重要手段。

公司不仅已向行业头部客户实现稳定供货，还建立了完善的半导体高端光学模组生产SOP体系，具备固化工艺流程与全流程检测检验节点。量产批次产品一致性优于95%，性能指标远超行业同级别优秀标准。